Dünnschichttechnologie (DST)

Bachelor ET, Bachelor WIng ET

• 5 SWS, 6 Credits
• Wahlpflichtveranstaltung (Bachelor)

Dozent: Prof. Dr.-Ing. Patrick Görrn

Diese Veranstaltung findet im Wintersemester statt.

Vorlesungsankündigung Wintersemester 2023/2024

Inhalt der Veranstaltung

Während die Mikroelektronik immer kleinere Bauelemente auf Basis kristalliner Halbleiter hervorbringt, erreichen Displays, Solarzellen oder gedruckte Schaltungen immer größere Flächen. Die Entwicklung solcher großflächiger Elektronik basiert auf amorphen oder polykristallinen Dünnschichten, die auf beliebige Unterlagen aufgebracht werden können. Das zentrale Bauelement, der Dünnschichttransistor (engl. Thin Film Transistor - TFT), gewinnt vor allem innerhalb der Displaytechnologie immer mehr an Bedeutung. Rolle zu Rolle herstellbare Dünnschichtsolarzellen gelten als Schlüssel für eine flächendeckende Gewinnung von Solarenergie.

Die Vorlesung Dünnschichttechnologie beschäftigt sich mit elektronisch funktionalen Dünnschichten und den daraus hergestellten Dünnschichtbauelementen. Sie behandelt verschiedene amorphe Halbleiter und vermittelt Grundlagen der Vakuumtechnologie und entsprechender vakuumbasierter aber auch vakuumfreier Abscheideverfahren.

Inhalte:

• Grenzen Wafer-basierter Mikroelektronik
• amorphe und polykristalline Halbleiter
• Grundlagen der Vakuumtechnik
• Schichtwachstum
• Vakuumdeposition
• Vakuumfreie Dünnschichttechnik
• Charakterisierung dünner Schichten
• Dünnschichtbauelemente